| 发明名称 |
LIQUID EPITAXIAL GROWTH, MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR LASER DEVICE AND LIQUID EPITAXIAL GROWTH JIG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02165621(A) |
申请公布日期 |
1990.06.26 |
| 申请号 |
JP19880320980 |
申请日期 |
1988.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
KOBAYASHI UICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/208;H01S5/00;H01S5/042 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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