发明名称 Semiconductor device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 US4937652(A) 申请公布日期 1990.06.26
申请号 US19880251179 申请日期 1988.09.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 OKUMURA, KATSUYA;SHINKI, TOSHINORI;IDAKA, TOSHIAKI;AOKI, RIICHIROU
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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