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发明名称 SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH02163601(A) 申请公布日期 1990.06.22
申请号 JP19880320184 申请日期 1988.12.19
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 MIYATA CHIKAYOSHI
分类号 G01B7/34;G01N23/00;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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