摘要 |
<P>Ensemble de pompage pour l'obtention de vides élevés, comprenant une pompe primaire 4 et une pompe secondaire 1, associées en série, la pompe primaire 4 refoulant à l'atmosphère et la pompe secondaire 1 aspirant dans une enceinte 3 à vider, et comportant des moyens de démarrage 7 de la pompe secondaire 1 lorsque la pression en amont de la pompe primaire 4 descend au-dessous d'une valeur P1 , caractérisé en ce qu'un réservoir passif 10, suivi d'une vanne d'isolement 11 sont intercalés entre le refoulement 12 de la pompe secondaire 1 et l'aspiration 13 de la pompe primaire 4, et en ce qu'il comprend des moyens de commande 7 de fermeture de la vanne d'isolement 11 et d'arrêt de la pompe primaire 4 lorsque la pression dans ledit réservoir passif 10 atteint une valeur P2 < P1 et d'ouverture de la vanne d'isolement 11 et de remise en marche de la pompe primaire 4 lorsque la pression dans ledit réservoir passif 10 atteint de nouveau la pression P1 .</P>
|