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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02161752(A) 申请公布日期 1990.06.21
申请号 JP19880317095 申请日期 1988.12.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAGUCHI YOSHIHIRO;FURUKAWA KAZUYOSHI;WATANABE KIMINORI;YASUHARA NORIO
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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