发明名称 |
TRANSFER DEVICE FOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02160448(A) |
申请公布日期 |
1990.06.20 |
申请号 |
JP19880309466 |
申请日期 |
1988.12.07 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YASUDA AKIO;TOBA HIROKADO |
分类号 |
B23P19/00;B23Q7/03;B65G43/08;B65G47/52;B65G47/88 |
主分类号 |
B23P19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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