发明名称 COATER
摘要
申请公布号 JPH02160074(A) 申请公布日期 1990.06.20
申请号 JP19880313522 申请日期 1988.12.12
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 FUJIWARA KAZUHIRO
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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