发明名称 Microflow sensor for gases
摘要
申请公布号 GB2226139(A) 申请公布日期 1990.06.20
申请号 GB19890013911 申请日期 1989.06.16
申请人 * LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HANS * KRAUSE;ALBERT * RANDOW
分类号 G01F1/684;G01F1/69;G01P5/12 主分类号 G01F1/684
代理机构 代理人
主权项
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