| 发明名称 |
ROTATING AND REVOLVING HOLDER AND ION-BEAM MACHINE PROVIDED WITH ABOVE HOLDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02159389(A) |
申请公布日期 |
1990.06.19 |
| 申请号 |
JP19880313872 |
申请日期 |
1988.12.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KADOOKA HIDESHI;OGATA YOSHIAKI;OISHI SEITARO;HASHIMOTO ISAO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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