发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02156560(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880309910 申请日期 1988.12.09
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 MORIMOTO MITSUTAKA
分类号 H01L27/06;H01L21/8232;H01L21/8249;H01L27/00;H01L27/095 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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