发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG FREITRAGENDER UEBERSTRAHLUNGSMASKEN UND NACH DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTE UEBERSTRAHLUNGSMASKE
摘要
申请公布号 DD279771(A1) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 DD19860296235 申请日期 1986.11.13
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 HAASE,NORBERT,DD;KIRSCH,ANDREAS,DD;PIETZARKA,HEINZ,DD;BAETZ,ULRICH,DD;BLOCHBERGER,PETER,DD;BURKHARDT,FRANK,DD
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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