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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL ROD
摘要
申请公布号 JPH02149492(A) 申请公布日期 1990.06.08
申请号 JP19880303760 申请日期 1988.11.29
申请人 NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK 发明人 MATSUOKA KYOICHIRO;HARADA HIROBUMI;SHINOYAMA SEIJI;KURIBAYASHI HISAO;KATO MASAHIKO
分类号 C30B15/22;C30B15/10;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/22
代理机构 代理人
主权项
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