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发明名称 JIG FOR EVAPORATION
摘要
申请公布号 JPH02149662(A) 申请公布日期 1990.06.08
申请号 JP19890255361 申请日期 1989.10.02
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 DEBUIDO ERU RUUTSU;KIIISU UEIDO MERANDA;RATSUSERU BURAIANTO MIINTAA
分类号 C23C14/04;H01L21/68 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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