发明名称 LICHTGEHAEUSEAUFBAU MIT KOMPENSATIONSLINSE AN EINER PROJEKTIONSVORRICHTUNG FUER EINEN REFERENZLASERSTRAHL.
摘要
申请公布号 DE3670904(D1) 申请公布日期 1990.06.07
申请号 DE19863670904 申请日期 1986.07.17
申请人 SPECTRA-PHYSICS INC 发明人 TEACH TED LEE;SOBOTTKE MARK D
分类号 G02B27/30;G01C15/00;(IPC1-7):G01C15/00 主分类号 G02B27/30
代理机构 代理人
主权项
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