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发明名称 RESIST PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02148039(A) 申请公布日期 1990.06.06
申请号 JP19880302535 申请日期 1988.11.30
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 G03F7/11;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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