发明名称 PATTERN SPLICING SYSTEM AND METHOD FOR SCANNING OF ELECTRON BEAM SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0298275(A3) 申请公布日期 1990.06.06
申请号 EP19880109291 申请日期 1988.06.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 RUDERT, JOHN RICHARD, JR.
分类号 G03F7/20;H01J37/302;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利