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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH02145772(A)
申请公布日期
1990.06.05
申请号
JP19880297739
申请日期
1988.11.25
申请人
TOSHIBA LIGHTING & TECHNOL CORP
发明人
KAWAKATSU AKIRA
分类号
C23C20/08
主分类号
C23C20/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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