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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0225250(B2) 申请公布日期 1990.06.01
申请号 JP19870093430 申请日期 1987.04.17
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 NIKORASU BIICHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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