发明名称 Transport device for transferring a workpiece from a first environment to a second one and process for loading and un loading a workcell.
摘要 <p>Es wird eine Schleusenkammer, um ein Werkstück aus einer Umgebung (U0) in eine andere Umgebung (U7) zu fördern, vorgeschlagen, welche als Transporteinrichtung einen einseitig in der Kammer schwenkgelagerten Hebel (11) umfasst. Es sind Schleusentore (5a, 5b) vorgesehen, um den Hebel (11) in gefordertem Mass in die jeweiligen Umgebungen (U7, U0) ausschwenken zu können. Durch die Ausbildung der Transporteinrichtung als einseitig gelagerten Hebel (11) wird ermöglicht, das Volumen der Schleusenkammer weitgehend unabhängig von der zu durchstreichenden Schwenkbahn auszubilden, insbesondere zu minimalisieren.</p>
申请公布号 EP0370188(A1) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 EP19890116747 申请日期 1989.09.11
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 FISCHER, HEINRICH;STRASSER, GREGOR, DR.;ZOHRER, GERALD;SCHERTLER, ROMAN
分类号 B23Q7/00;C23C14/56;G11B7/26;H01L21/677 主分类号 B23Q7/00
代理机构 代理人
主权项
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