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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0270439(U) 申请公布日期 1990.05.29
申请号 JP19880087677U 申请日期 1988.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/607;H01L21/60 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人
主权项
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