发明名称 ELECTRON BEAM TRANSMISSION WINDOW
摘要
申请公布号 JPH02138900(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 JP19880291885 申请日期 1988.11.18
申请人 NIKON CORP 发明人 SUGIMURA HIROYUKI
分类号 G21K5/00;H01J33/04;H01L21/027 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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