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发明名称
METHOD FOR LOCAL MILLING BY HELP OF SMALL-SIZE LIGHT SPOT
摘要
申请公布号
HUT51793(A)
申请公布日期
1990.05.28
申请号
HU19870004993
申请日期
1987.11.10
申请人
MIKROVAKUUM KISSZOEVETKEZET,HU
发明人
SZENDROE,ISTVAN,HU;MARTON,EDIT,HU
分类号
H01L21/306;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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