发明名称 METHOD FOR LOCAL MILLING BY HELP OF SMALL-SIZE LIGHT SPOT
摘要
申请公布号 HUT51793(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 HU19870004993 申请日期 1987.11.10
申请人 MIKROVAKUUM KISSZOEVETKEZET,HU 发明人 SZENDROE,ISTVAN,HU;MARTON,EDIT,HU
分类号 H01L21/306;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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