发明名称 THIN FILM MACHINERY
摘要
申请公布号 JPH02138516(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 JP19880291215 申请日期 1988.11.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHARA HIROSHI
分类号 F16C32/04 主分类号 F16C32/04
代理机构 代理人
主权项
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