发明名称 FORMING METHOD FOR SUPERLATTICE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH02137315(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880291501 申请日期 1988.11.18
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 HASEGAWA KAZUMASA
分类号 C30B29/68;H01L21/20;H01L21/318;H01L21/331;H01L21/84;H01L29/20;H01L29/73 主分类号 C30B29/68
代理机构 代理人
主权项
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