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经营范围
发明名称
FORMING METHOD FOR SUPERLATTICE STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH02137315(A)
申请公布日期
1990.05.25
申请号
JP19880291501
申请日期
1988.11.18
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
HASEGAWA KAZUMASA
分类号
C30B29/68;H01L21/20;H01L21/318;H01L21/331;H01L21/84;H01L29/20;H01L29/73
主分类号
C30B29/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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