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发明名称 SUSPENSION FOR CHEMICAL AND MECHANICAL POLISHING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATA
摘要
申请公布号 SU1565867(A1) 申请公布日期 1990.05.23
申请号 SU19874293740 申请日期 1987.08.03
申请人 YATSIK IGOR M,SU;MARCHENKO VIKTOR F,SU;DMITRIEVA TAMARA V,SU 发明人 YATSIK IGOR M,SU;MARCHENKO VIKTOR F,SU;DMITRIEVA TAMARA V,SU
分类号 C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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