发明名称 APPARATUS FOR CHEMICAL TREATMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02132829(A) 申请公布日期 1990.05.22
申请号 JP19880286237 申请日期 1988.11.12
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 HIROSE TAKASHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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