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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02130869(A) 申请公布日期 1990.05.18
申请号 JP19880283685 申请日期 1988.11.11
申请人 HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD 发明人 SUGIE YOSHIZO;SAKAMOTO MITSUZO;OKABE TAKEAKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/732;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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