| 发明名称 |
METHOD OF LEVELLING SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02129921(A) |
申请公布日期 |
1990.05.18 |
| 申请号 |
JP19880282695 |
申请日期 |
1988.11.09 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
MORITA SHINZO;HATTORI SHUZO |
| 分类号 |
C08F2/52;C08F2/00;C08F12/00;C08F12/08;C23C16/00;C23C16/50;H01L21/312 |
主分类号 |
C08F2/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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