| 发明名称 |
TRANSFER DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02127312(A) |
申请公布日期 |
1990.05.16 |
| 申请号 |
JP19880277742 |
申请日期 |
1988.11.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIYAMOTO TETSUJI;UEO NORIYUKI |
| 分类号 |
B65G11/02;B65G21/20;H01L23/00;H05K13/02 |
主分类号 |
B65G11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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