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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0265334(U) 申请公布日期 1990.05.16
申请号 JP19880144414U 申请日期 1988.11.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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