| 发明名称 |
Processes for the preparation of polycrystalline diamond films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4925701(A) |
申请公布日期 |
1990.05.15 |
| 申请号 |
US19880199646 |
申请日期 |
1988.05.27 |
| 申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
JANSEN, FRANK;MACHONKIN, MARY A. |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C16/02;C23C16/27;C30B25/02;H01L21/48 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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