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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH02125425(A)
申请公布日期
1990.05.14
申请号
JP19890062037
申请日期
1989.03.16
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
NAKAMURA MORITAKA;OJIRI HIDEHIRO;KURIMOTO TAKASHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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