发明名称 CONNECTION FOR N-TYPE SEMICONDUCTOR MATERIALS' ELECTROCHEMICAL ETCHING CONTROL
摘要
申请公布号 CS8901247(A1) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 CS19890001247 申请日期 1989.02.27
申请人 HRDLICKA LUBOMIR ING.,CS;VESELY MIROSLAV ING.,CS 发明人 HRDLICKA LUBOMIR ING.,CS;VESELY MIROSLAV ING.,CS
分类号 C25F3/12;H01L21/268;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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