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发明名称 GAP SENSING/ADJUSTMENT APPARATUS AND METHOD FOR A LITHOGRAPHY MACHINE.
摘要
申请公布号 EP0349632(A4) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 EP19890901625 申请日期 1988.12.28
申请人 HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC 发明人 FRANKEL, ROBERT, D.;MARTIN, MARC, J.;BAKER, DAVID, G.;DUFT, THOMAS, L.
分类号 G21K5/02;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H05H1/22 主分类号 G21K5/02
代理机构 代理人
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