发明名称 SOLUBILIZED METAL ALKOXIDES IN ALKOXYALKANOL SOLVENT
摘要 AST 5367 SOLUBILIZED METAL ALKOXIDES IN ALKOXYALKANOL SOLVENT Metal alkoxides, including those not containing ligands derived from an alkoxy alcohol, can be solubilized in an alkoxyalkanol solvent. The resulting solution is useful in the fabrication of metal oxide films on a substrate.
申请公布号 CA2002605(A1) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 CA19892002605 申请日期 1989.11.09
申请人 AKZO AMERICA INC. 发明人 WHITWELL, GEORGE E.;DEATCHER, JOHN H.;BURKHARDT, ERIC W.
分类号 C01B13/32;C07C31/28;C07C43/13;C07C215/08;C07F1/08;C07F3/00;C07F5/00;C07F19/00;H01L39/24;(IPC1-7):C09D5/24;B05D3/02 主分类号 C01B13/32
代理机构 代理人
主权项
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