发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND TESTING METHOD OF SAID CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02124483(A) 申请公布日期 1990.05.11
申请号 JP19890096867 申请日期 1989.04.17
申请人 SHARP CORP 发明人 TANAKA SHIGEKI;IMURA KOJI
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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