发明名称 METHOD FOR MEASURING SERIES RESISTANCE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02124473(A) 申请公布日期 1990.05.11
申请号 JP19880145004 申请日期 1988.06.13
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIDA MASAO
分类号 G01R27/02;H01L21/338;H01L21/66;H01L29/812 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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