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发明名称
METHOD FOR MEASURING SERIES RESISTANCE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号
JPH02124473(A)
申请公布日期
1990.05.11
申请号
JP19880145004
申请日期
1988.06.13
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
NISHIDA MASAO
分类号
G01R27/02;H01L21/338;H01L21/66;H01L29/812
主分类号
G01R27/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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