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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM COMPOUND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02121246(A) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 JP19880274227 申请日期 1988.10.28
申请人 JEOL LTD 发明人 SAWARAGI HIROSHI
分类号 H01J37/04;H01J37/06;H01J37/08;H01J37/147 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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