发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02121331(A) 申请公布日期 1990.05.09
申请号 JP19880275066 申请日期 1988.10.31
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KITANO NAOKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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