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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02119144(A) 申请公布日期 1990.05.07
申请号 JP19880271046 申请日期 1988.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KUDO HITOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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