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发明名称 A COPLANAR AND SELF-ALIGNED CONTACT STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0296718(A3) 申请公布日期 1990.05.02
申请号 EP19880304765 申请日期 1988.05.26
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 CHIU, KUANG-YI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/82;H01L29/40 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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