发明名称 SPUTTERING FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH02115361(A) 申请公布日期 1990.04.27
申请号 JP19880270254 申请日期 1988.10.25
申请人 TDK CORP 发明人 MATSUZAKI MIKIO;IIJIMA ATSUSHI
分类号 C23C14/08;G11C17/00 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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