发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02114515(A) 申请公布日期 1990.04.26
申请号 JP19880267954 申请日期 1988.10.24
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 TANAKA DAISUKE
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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