| 发明名称 |
Apparatus for measuring breakdown plasma |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2224115(A) |
申请公布日期 |
1990.04.25 |
| 申请号 |
GB19890018627 |
申请日期 |
1989.08.15 |
| 申请人 |
* HITACHI LTD |
发明人 |
TETSUYA * MATSUI;TAKEHIKO * KITAMORI;KENJI * YOKOSE;MASAHARU * SAKAGAMI |
| 分类号 |
G01N15/10;G01N15/14;G01N21/71;G01N27/06;G01N27/62;G01N27/64 |
主分类号 |
G01N15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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