| 发明名称 |
CONTINUOUS FORMING METHOD OF TRANSPARENT CONDUCTIVE THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02112112(A) |
申请公布日期 |
1990.04.24 |
| 申请号 |
JP19880264872 |
申请日期 |
1988.10.20 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
HATAKEYAMA TADAO;AONUMA DAISUKE;HORIGUCHI AOSHI |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/34;H01B13/00;H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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