| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02112236(A) |
申请公布日期 |
1990.04.24 |
| 申请号 |
JP19880265340 |
申请日期 |
1988.10.21 |
| 申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
KAISHIYOU TAKASHI;SHIMAKURA HARUTO;ODA OSAMU |
| 分类号 |
C30B29/40;H01L21/265;H01L21/324 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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