发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02112262(A) 申请公布日期 1990.04.24
申请号 JP19880265761 申请日期 1988.10.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIDA SOICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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