| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02111054(A) |
申请公布日期 |
1990.04.24 |
| 申请号 |
JP19880265400 |
申请日期 |
1988.10.20 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
GOTO FUMIHIKO;YAMAMOTO JIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
