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发明名称 SILICON NITRIDE WITH LOW OXYGEN CONTENT
摘要
申请公布号 JPH02107508(A) 申请公布日期 1990.04.19
申请号 JP19890220485 申请日期 1989.08.29
申请人 BAYER AG 发明人 URURIKE PITSUTSUAA;BENO RAUBATSUHA;GERUHARUTO FURANTSU
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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