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发明名称
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02107765(A)
申请公布日期
1990.04.19
申请号
JP19880259128
申请日期
1988.10.14
申请人
ULVAC CORP
发明人
TSUKAGOSHI OSAMU;ONO SHINICHI;OGATA SEIJI
分类号
C23C14/35;H01J9/14;H01L21/203
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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